Reference Type | Journal (article/letter/editorial) |
---|
Title | 0,1 µm en production de masse en lithographie optique ? |
---|
Journal | Annales de Physique |
---|
Authors | Henry, D. | Author |
---|
Schiavonne, P. | Author |
Toublan, O. | Author |
Year | 1997 (February) | Volume | 22 |
---|
Publisher | EDP Sciences |
---|
DOI | doi:10.1051/anphys/1997039Search in ResearchGate |
---|
| Generate Citation Formats |
Mindat Ref. ID | 14272564 | Long-form Identifier | mindat:1:5:14272564:3 |
---|
|
GUID | 0 |
---|
Full Reference | Henry, D., Schiavonne, P., Toublan, O. (1997) 0,1 µm en production de masse en lithographie optique ?. Annales de Physique, 22. doi:10.1051/anphys/1997039 |
---|
Plain Text | Henry, D., Schiavonne, P., Toublan, O. (1997) 0,1 µm en production de masse en lithographie optique ?. Annales de Physique, 22. doi:10.1051/anphys/1997039 |
---|
In | (1997) Annales de Physique Vol. 22. EDP Sciences |
---|
These are possibly similar items as determined by title/reference text matching only.