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Morillon, P., Farcy, J.-Cl., Gilbert, F., Hélias, G., Legeay, G. (1997) Micro-usinage par laser pour interconnexions micro-électroniques. Annales de Physique, 22. doi:10.1051/anphys/1997046

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Reference TypeJournal (article/letter/editorial)
TitleMicro-usinage par laser pour interconnexions micro-électroniques
JournalAnnales de Physique
AuthorsMorillon, P.Author
Farcy, J.-Cl.Author
Gilbert, F.Author
Hélias, G.Author
Legeay, G.Author
Year1997 (February)Volume22
PublisherEDP Sciences
DOIdoi:10.1051/anphys/1997046Search in ResearchGate
Generate Citation Formats
Mindat Ref. ID14272571Long-form Identifiermindat:1:5:14272571:1
GUID0
Full ReferenceMorillon, P., Farcy, J.-Cl., Gilbert, F., Hélias, G., Legeay, G. (1997) Micro-usinage par laser pour interconnexions micro-électroniques. Annales de Physique, 22. doi:10.1051/anphys/1997046
Plain TextMorillon, P., Farcy, J.-Cl., Gilbert, F., Hélias, G., Legeay, G. (1997) Micro-usinage par laser pour interconnexions micro-électroniques. Annales de Physique, 22. doi:10.1051/anphys/1997046
In(1997) Annales de Physique Vol. 22. EDP Sciences

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